1、用固体CaCl2除水，水份可降低至0.1%（体积）以下；
2、用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份，为了除去高纯气体中的杂质水，资料表明工业上常用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下，水份可降至0.01%（体积）以下；
3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水，可降到600～1000ppm，夏季水份还要更多些；
4、JMT型干燥剂是一种含硅铝比的丝光沸石型分子筛，具有良好的热稳定性，除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外，在900℃前无明显的分解峰，说明其晶格具有优良的稳定性。
